精研加工，簡稱“超精加工”，一般是指在良好的潤滑條件下，被加工工件按一定的速度旋轉(zhuǎn)，油石按一定的壓力彈性地壓在工件加工表面上，并在垂直于工件旋轉(zhuǎn)方向按一定規(guī)律作往復(fù)振蕩運(yùn)動(dòng)的一種能夠自動(dòng)完成的光整加工方法。

超精研加工創(chuàng)始于美國，但是現(xiàn)在在歐洲和日本得到了進(jìn)一步的發(fā)展和提高，高端超精機(jī)不停迭代。德國的SUPERFINA、THIELENHAUS和NAGEL公司，日本的精工、東洋工業(yè)和大阪精機(jī)公司都是世界聞名的，國內(nèi)有鈺芹，無錫，新一代藍(lán)馬，揚(yáng)名，對超精研加工工藝及裝備的研究水平及產(chǎn)品均處于國內(nèi)領(lǐng)先水平。如：德國的SUPERFINA公司生產(chǎn)的軸承套圈溝（滾）道超精機(jī)采用西門子數(shù)控系統(tǒng)，具有CRT屏幕顯示，用NC技術(shù)控制工件的轉(zhuǎn)速、油石振蕩頻率、油石壓力、油石位置和加工時(shí)間，可以儲(chǔ)存與工件有關(guān)的加工參數(shù)，還可隨時(shí)調(diào)用機(jī)床調(diào)整程序和機(jī)床循環(huán)調(diào)整，也可以用NC技術(shù)控制滾道凸度的加工并可從加工溝道自動(dòng)轉(zhuǎn)換到加工滾道，或者做相反的自動(dòng)轉(zhuǎn)換。日本大阪精機(jī)公司生產(chǎn)的SF-R系列軸承套圈溝（滾）道超精機(jī)采用CNC數(shù)控系統(tǒng)，CRT屏幕顯示，CNC控制超精油石、不同型號軸承工作條件的自動(dòng)設(shè)定、超精研加工過程工藝參數(shù)的自動(dòng)變換以及機(jī)床在沒有工件、油石用完或斷裂、油壓或氣壓下降、潤滑冷卻液不足等情況下自動(dòng)停機(jī)并實(shí)時(shí)顯示報(bào)警。該機(jī)床為了滿足柔性加工生產(chǎn)線的需要，還設(shè)計(jì)了柔性制造系統(tǒng)（FMS)：

①油石自動(dòng)供給裝置，這個(gè)裝置在它的油石送料斗中有10片或更多的新油石，并且能夠自動(dòng)卸除舊油石更換新油石；

②超精研加工油石自動(dòng)更換裝置，為了在短時(shí)間內(nèi)獲得良好的加工表面，在超精研加工過程中兩個(gè)用于粗精超加工的不同等級和硬度的油石在一個(gè)工位上可以自動(dòng)轉(zhuǎn)換，這樣在一個(gè)工位上的工藝參數(shù)變化可達(dá)到5項(xiàng)。

超精研加工整個(gè)過程包括3個(gè)階段：修整、恒定切削、磨光（也有分為：切削階段或自銳階段、半切削階段、光整階段）。并且整個(gè)過程在基本工藝參數(shù)（如：工 件速度，油石壓力，油石振蕩頻率和幅度以及潤滑冷卻 液等）不變的條件下自動(dòng)完成。